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初期的X射线探测器是无能量分辨能力的盖革计数器,现在已发展处了多种类型、不同用途,并具有几号分辨率的各种X射线探测器。特别是近几年,随着太空探测技术和超导材料研究的进步,X射线能量探测器技术取得了显著的进展。目前除了正比计数器、闪烁计数器及Si(Li)探测器等广泛应用于各种商用仪器外,各种基于半导体原理及超导性等制成的能量探测器也取得了显著进步。
电磁辐射激发X荧光分析,简称EDXRF。电磁辐射激发一般用X射线管或X射线荧光分析Fe、238Pu、X射线荧光分析Cd、241、X射线荧光分析Co等放射性同位素作激发源。这时它的探测极限虽不及PIXE,但制样简便,常常可以直接分析原始样品,而且既能分析低含量样品,又能分析高含量样品,因此应用更为广泛。X射线在物质中的穿透能力较大,故能测量较厚样品中的元素平均含量。荧光分析X射线管当使用放射性同位素作激发源时能够制成便携式的仪器,不仅可用于实验室,还可以用于工厂、野外地质和矿山。当使用电子同步加速器或电子储存环发出的高强度偏振辐射作激发源时,探测极限比PIXE好几个数量级。若再使用晶体单色器,还可以制成同步辐射X射线微探针,进行微区分析。
光电倍增管的灵敏度有两种,一种是阴极灵敏度,另一种是阳极灵敏度。阴极灵敏度是指单位光辐射在光阴极上产生光电流的大小,它是由所用光阴极材料决定的。阳极灵敏度是指光电倍增管在一定外加电压作用下单位光辐射产生的阳极输出电流。阳极灵敏度是随着外加电压大小而改变的。这两种灵敏度是选用PMT的重要参数。
X射线探测器的作用是将X射线光子的能量转换成易于测量的电信号。在入射X射线与探测器活性材料的相互作用下产生光电子,由这些光电子形成的电流经电容和电阻产生脉冲典雅,脉冲典雅的大小与X射线光子的能量成正比,好的探测器经常要求两字计数效率和分辨率高,线性和正比性好。