荧光分析X射线管是工作在高电压下的真空二极管。包含有两个电极 ：一个是用于发射电子的灯丝，作为阴极，另一个是用于接受电子轰击的靶材，作为阳极。两级均被密封在高真空的玻璃或陶瓷外壳内。

利用高速电子撞击金属靶面产生X射线的真空电子器件。按照产生电子的方式,X射线管可分为充气管和真空管两类。

X射线管

充气X射线管是早期的X射线管。1895年，W.C.伦琴在进行克鲁克斯管实验时发现了X射线。克鲁克斯管就是充气X射线管。这种管接通高压后,管内气体电离，在正离子轰击下，电子从阴极逸出，经加速后撞击靶面产生X射线。充气X射线管功率小、寿命短、控制困难，后已很少应用。1913年，W.D.库利吉发明了真空X射线管。管内真空度不低于10-4 帕。阴极为直热式螺旋钨丝，阳极为铜块端面镶嵌的金属靶。根据管子的用途选择靶材和电子束能量，常用钨作靶材。在某些用途下，还采用银、钯、铑、钼、铜、镍、钴、铁、铬等材料。阴极工作温度约为2000K,发射出的电子经数万至数十万伏高压加速后撞击靶面。阴极被一个前端开槽的金属罩包围。金属罩的电位等于或低于阴极，迫使电子聚焦在靶面上的一个狭窄区域内,形成焦斑。X射线就从焦斑上向各个方向辐射，通过管壁上的窗口输出。窗口一般用对X射线吸收很小的铍、铝或轻质玻璃制成，以铍片为佳。